ALD 應用

跨越 3D 幾何與奈米尺度的薄膜挑戰，正是 ALDO 的起點。從實驗室打樣到 G6 世代線量產，以真實製程數據說話。

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ALD 技術核心優勢

跨越 3D 幾何的物理瓶頸，重新定義薄膜沉積。

當結構變得深、窄或具備三維幾何時，薄膜沉積面臨保形性與孔底覆蓋率的物理挑戰。ALDO 從表面化學機制出發，提供跨越這些限制的製程方案。

ALDO 以循序式自限制表面化學進行薄膜成長，能在高深寬比與複雜幾何下達成優異的保形覆蓋，並實現 埃米級 (Ångström) 厚度精準控制。

不確定 ALD 是否適合您的應用？這正是打樣評估的意義所在。

顯示技術｜Micro LED / 矽光子 / OLED

突破低溫封裝瓶頸，提供優異的 WVTR 水氧阻絕與微米級側壁鈍化技術。

#Micro LED 側壁鈍化 #OLED 水氧阻絕層 #WVTR #低溫封裝 #矽光子波導

致命痛點

  • 熱敏與水氧降解：量子點 (QD) 與 OLED 材料極度怕熱且極易受水氧降解，傳統高溫製程會直接破壞材料活性與發光壽命
  • 大面積均勻度與放大瓶頸：製程放大至顯示器大尺寸基板時，極易因氣流不均導致厚度失控

ALD 解決方法

  • <100°C 極低溫製程：妥善保護 QD 與 OLED 等脆弱材料，降低高溫導致的材料熱降解
  • G4.5 至 G6 世代線量產技術：薄膜均勻性 Non-uniformity <3%，滿足大尺寸基板量產需求

半導體｜先進 3D 封裝 (FOPLP / TGV / TSV)

針對高深寬比 (HAR) 結構設計，有效克服 TGV / TSV 矽穿孔與 High-k 介電層之製程挑戰。

#先進封裝絕緣層 #高深寬比鍍膜 #FOPLP 面板級封裝 #TSV 矽穿孔 #TGV 玻璃通孔 #High-k 介電層

致命痛點

  • 高深寬比鍍膜極限：TSV 與 TGV 深寬比屢創新高，傳統鍍膜方式難以進入孔底
  • 高壓漏電失效風險：絕緣層難以完整包覆孔底，在高頻高壓運作下導致漏電失效

ALD 解決方法

  • 極高的立體階梯覆蓋率 (Step Coverage)：氣態前驅物能高度順應複雜形貌，於深孔內部實現極佳的均勻保形沉積
  • 奈米級緻密絕緣屏障：在孔壁與孔底均勻沉積緻密的絕緣層（SiO₂、Al₂O₃）或擴散阻擋層（TiN），防止高壓漏電

光學鍍膜｜Optical Coating

精準調控高低折射率材料，為 AR 光波導與 DBR 反射鏡達成低表面粗糙度 (RMS) 的高品質膜層。

#AR 光波導 #高低折射率材料 #低表面粗糙度 RMS #增透膜 AR Coating #DBR 反射鏡

致命痛點

  • 折射率容錯率極低：AR/VR 光波導片對折射率極度敏感，輕微厚度偏差都會導致嚴重色偏與光學失真
  • 表面粗糙度引發散射：傳統濺鍍厚度難以精準至奈米以下，粗糙膜層引發嚴重光學散射；內部應力更會造成基板翹曲

ALD 解決方法

  • 原子級 (Å) 厚度精準控制：精確交替堆疊 TiO₂ (高折射) 與 SiO₂ (低折射) 多層膜系，大幅降低折射率與色偏誤差
  • 超低應力與極致平滑表面：表面粗糙度穩定控制在 RMS < 1nm，消除內部應力並避免基板翹曲，達成零光暈體驗

綠能科技｜鋰電池與太陽能電池

掌握粉末 ALD 與表面鈍化技術， 建構高可靠度的固態電池 SEI 膜與低溫鍍膜。

#固態電池 SEI 膜 #粉末 ALD #鈣鈦礦太陽能 ETL #SnO₂ 低溫鍍膜 #表面鈍化

致命痛點

  • 環境耐受度極差：鈣鈦礦電池極度怕熱且易受潮，環境壽命短，難以穩定跨越商用門檻
  • 粉末與多孔包覆死角：傳統鍍膜無法均勻包覆粉末或多孔電極，僅能進行表面塗佈，無法深入奈米孔隙提供立體防護

ALD 解決方法

  • 低溫高品質 SnO₂ 沉積：在不傷害鈣鈦礦等熱敏材料的極低溫環境下，沉積高緻密、低電阻電子傳輸層 (ETL)，大幅提升環境耐受度
  • 3D 粉末/多孔包覆技術：高度貼合包覆正負極粉末與多孔電極，披上奈米級固態電解質界面膜 (SEI)，在不增加內阻下提升電池循環壽命

生物醫療｜Biomedical

全方位貼合多孔微結構，提供符合醫療應用標準的鈦合金表面改質與高生物相容性防腐塗層。

#植入式醫材防腐蝕 #生物相容性塗層 #鈦合金表面改質 #多孔微結構包覆

致命痛點

  • 複雜結構滲透困難：人工關節、心律調節器等植入醫材常帶仿生多孔結構，傳統視線型鍍膜法難以深入滲透複雜結構
  • 微米氣孔引發體液腐蝕：傳統塗層只要有一個微米級氣孔，體液即滲入導致金屬腐蝕並釋放有害離子，引發排斥與失效

ALD 解決方法

  • 優異的保形包覆能力：藉由氣態前驅物的擴散特性，能高度順應並深入滲透複雜的骨骼仿生多孔微結構，實現極致均勻的薄膜沉積
  • 無針孔抗體液腐蝕屏障：生長極致緻密的 Al₂O₃ 或 TiO₂ 薄膜，徹底杜絕體液滲入引起的金屬腐蝕，提供優異生物相容性

精密鍍膜｜Precision Coating

專注於 3D 複雜幾何鍍膜，為 MEMS 封裝與微型感測器提供極高保形性 (Conformal) 的防靜電奈米塗層。

#MEMS 封裝 #微機電防靜電 #感測器奈米塗層 #3D 複雜幾何鍍膜

致命痛點

  • 塗層過厚卡死機械：MEMS 內部極微小的懸臂樑與機械結構無法承受厚塗層，過厚塗層會直接卡死微機械運作
  • 物理尺寸改變引發失準：過厚塗層改變感測器原始物理尺寸，嚴重影響高頻震盪頻率與精準度；微小元件亦極易受濕氣與靜電干擾

ALD 解決方法

  • 極致薄型保形鍍膜：膜厚精確控制在數奈米，完全不改變微小機械零件的物理尺寸、震盪頻率與動態特性
  • 全方位環境絕緣防護：順應微小懸臂樑與 3D 複雜幾何結構均勻敷型，提供超強絕緣、防潮與抗靜電防護

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