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您的 ALD 合作夥伴
從設備到製程的全方位服務

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ALD Aspect Ratio 縱橫比 > 20，非常適合TGV（Through Glass Via 透過玻璃通孔）應用

ALDO: 專注於 ALD 的公司

悅鍍科技 （ALDO Technology）是一家位於台中精密工業區的原子層沉積（Atomic Layer Deposition，ALD）製程/材料開發及系統設計/製造的企業。

有別於傳統的化學氣相沉積 (Chemical Vaporization Deposition, CVD)，ALD具有表面自限制的特點，因此在眾多薄膜製備技術中脫穎而出，展現出獨樹一幟的優勢！悅鍍科技提供從實驗室 (lab) 到工廠 (fab) 的ALD設備及材料，甚至前驅物回收或廢棄物處理，為泛半導體（半導體、新能源、柔性顯示、光學鍍膜、生物醫療、奈米技術等領域）的薄膜沉積研發和生產提供整體化解決方案。

ALD應用

透過調節反應循環次數精確控制薄膜厚度，形成原子級厚度的薄膜，可廣泛適用於各種形狀的襯底，在高深寬比結構及其他複雜三維結構中，可也生成保形性極佳的薄膜。前驅體或反應物是飽和的化學吸附，能確保生成大面積均勻性的薄膜，薄膜光滑、緻密、無針孔，適合界面修飾和製備多組元奈米疊層結構。

瞭解更多
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光學鍍膜
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生物醫療
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精密鍍膜
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鋰電池和太陽能電池
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柔性顯示: OLED
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半導體封裝

ALDO整體化解決方案

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系統設備

悅鍍科技ALD薄膜沉積系統提供多種先進的技術, 包括離子體增強系統(PE-ALD), 大尺寸沉積系統 (Large Area ALD), 粉末包覆系統 (Powder ALD), 超高真空系列 (UHV ALD) 等; 新一代智慧化系統設計, 裝備簡潔友善軟硬體介面 + 全方位安全互鎖解決方案; 從實驗室用到高產量生產設備,悅鍍科技是您的 ALD 合作夥伴。
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前驅體材料和回收

透過與材料商合作，我們提供及補充前驅體來支援我們的設備； 或開發新下一代製程所需的材料；我們採用專有技術，還提供具有成本效益的前驅體回收服務，以降低成本 Low Cost of Ownership (COO)。
image of laboratory equipment (for a university)

鍍膜服務

悅鍍科技提供ALD鍍膜服務，以滿足全球客戶對超薄薄膜或高縱橫比（如TGV, Showerhead）的需求 無論數量大小，我們都會以合理的價格滿足您的技術規格。
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關於悅鍍

原子層沉積（ALD）技術在光學、奈米技術、微機械系統、能源、催化、生物醫用、顯示器、耐腐蝕及密封塗層等領域的研究方興未艾，呈現爆發式增長，我們團隊帶來矽谷近30年製程及設備經驗，希望與台灣業界合作，推動台灣 ALD 應用邁向新高度。

關於我們
整體化ALD解決方案

探索我們在原子層沉積解決方案中的使命與專業，專為先進產業而打造。

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