我們的材料合作夥伴提供設備相關的前驅體及填充服務 。 我們還提供帶液位感測器的前驅體鋼瓶,精確控制不同製程的前驅體用量,消除缺料風險輕鬆規劃鋼瓶更換和預防性維護 (PM) 停機時間。
此外,我們期待與您合作, 共同開發下一代製程所需的新材料。
利用獨家的環保新製程/回收技術,我們將大部分廢氣轉化為前驅體,剩下待需處理廢的棄物量極少,然後由的我們的材料合作夥伴提供精煉服務,以便大部分廢物可以轉化為新的前驅體, 可以最大程度地減少碳排放以符合 ESG 原則。前驅體成本是許多使用者不能考慮ALD製程的因素, 我們的回收/精煉服務更可以節省昂貴的材料, 顯著減降低設備擁有成本低 Low Cost of Ownership (COO)
我們也提供前驅體閥件回收服務:消除洩漏風險,提升製程效能,透過回收閥件 /管道 (Reclamation of valve/pipe) 降低耗材成本, 服務涵蓋不同的ALD/CVD材料/工具,例如TEOS、TEPO、TEB、TDMAT …
ALD 無與倫比的保形性和均勻性,即使是複雜且高縱橫比的部件也能鍍上高品質的薄膜。對於半導體製造商而言,這提供了一種有效的防腐塗層解決方案,可延長零件使用壽命並加快維護後的恢復速度。
根據客戶的特定應用需求,提供根據薄膜的特定應用體系,為客戶提供原料選擇、製程路線制定等全方位服務。