
ALD 具備卓越的保形性與均勻性,即使面對複雜幾何結構與高縱橫比元件,也能形成高品質、緻密且一致的薄膜。對半導體、光學與醫療製造業而言,ALD 可提供有效的水氣阻障與表面保護塗層,提升零件的耐久性與可靠性,延長使用壽命,並降低維護頻率與停機時間。
根據客戶的特定應用需求,我們依薄膜的應用體系,提供原料選擇、製程路線制定等全方位服務。
從製程開發到量產導入,提供完整的鍍膜服務支援
針對客戶的應用情境,協助制定 ALD 製程配方、調整參數,並進行膜厚均勻性、組成與表面特性的驗證。
支援多種基板尺寸與材料的試鍍服務,協助客戶在投資設備前完成可行性驗證與性能評估。
結合材料、設備與製程經驗,為客戶提供從設計、選材到製程整合的技術諮詢與導入支援。