
ALD는 우수한 콘포멀리티(conformality)와 균일성을 갖추어 복잡한 형상 및 고종횡비 부품에서도 고품질의 치밀하고 균일한 박막을 형성합니다. 반도체, 광학, 의료기기 제조 분야에서 ALD는 효과적인 수분/산소 차단막과 표면 보호 코팅을 제공하여 부품의 내구성과 신뢰성을 높이고, 사용 수명을 연장하며, 유지보수 빈도와 다운타임을 줄여줍니다.
고객의 구체적인 응용 요구사항에 따라 박막의 응용 체계에 맞춰 소재 선정, 공정 경로 수립 등 전방위 서비스를 제공합니다.
공정 개발부터 양산 도입까지, 코팅 서비스를 전 과정에서 지원합니다
고객의 응용 환경에 맞춰 ALD 공정 레시피 수립 및 파라미터 조정을 지원하고, 막 두께 균일성, 조성 및 표면 특성을 검증합니다.
다양한 기판 크기와 재료에 대한 시험 코팅 서비스를 제공하여, 고객이 장비 투자 전에 타당성 검증과 성능 평가를 완료할 수 있도록 지원합니다.
소재, 장비, 공정 경험을 결합하여 설계, 소재 선정, 공정 통합에 이르는 기술 컨설팅 및 도입 지원을 제공합니다.