고순도 ALD 전구체 소재 — 안정적인 공급과 공정 호환성으로 박막 응용을 전방위로 지원합니다
당사의 소재 파트너가 장비 관련 전구체 공급 및 충전 서비스를 제공합니다. 또한 레벨 센서가 장착된 전구체 실린더를 통해 공정별 전구체 사용량을 정밀하게 관리하고, 자재 부족 위험을 제거하며, 실린더 교체 및 예방 정비(PM) 다운타임 계획을 쉽게 세울 수 있습니다.
표준 전구체 외에도, 차세대 공정에 필요한 신소재를 고객과 함께 공동 개발하기를 기대하고 있습니다.
응용 분야별 주요 ALD 전구체 및 순도 사양
| Application (응용 분야) | Product Name (제품명) | Purity (순도) |
|---|---|---|
| Low-k 유전체 | OMCATS · DMDMOS | >6N |
| High-k 유전체 | TAETO (Ta₂O₅ Precursor) | >6N |
| High-k 유전체 | TEMAH · HfCl₄ (ALD HfO₂ Precursor) | >6N |
| High-k 유전체 | TEMAZ (ALD ZrO₂ Precursor) | >6N |
| High-k 유전체 | TMA (Al₂O₃ Precursor) | >6N |
| 메탈 게이트 / 인터커넥트 메탈 | TiCl₄ (Ti / TiN Precursor) | >6N |
| 메탈 게이트 / 인터커넥트 메탈 | PDMAT (TaN Precursor) | >6N |
| 메탈 게이트 / 인터커넥트 메탈 | CCTBA (Co Precursor) | >6N |
| 저온 질화막 / 산화막 | HCDS · 3DMAS · BTBAS | >6N |
| 투명 전극 | TEMASn · TDMASn · TMI · DEZ | >6N |
ALD 공정의 까다로운 전구체 전달 요구사항을 충족하기 위해, ALDO 테크놀로지는 실린더 설계, 레벨 감지, 액체 전달까지 통합된 솔루션을 제공하여 고객이 양산 및 연구개발 현장에서 소재 사용량을 안정적으로 관리하고 위험과 다운타임을 줄일 수 있도록 돕습니다.
맞춤형 실린더, 레벨 게이지 및 관련 전구체 전달 통합 솔루션에 대해 문의하시려면, 공정 정보를 알려주시면 최적의 구성을 평가해 드리겠습니다.