高純度ALD前駆体材料 — 安定供給・プロセス互換性を備え、薄膜用途を全方位でサポート
私たちの材料パートナーが、装置に関連する前駆体の供給・充填サービスを提供します。また、液位センサー付きの前駆体シリンダーにより、各プロセスにおける前駆体使用量を精密に管理し、欠品リスクを排除するとともに、シリンダー交換や予防保守（PM）の停止計画を容易にします。
標準前駆体に加え、お客様と協力して次世代プロセスに必要な新材料を共同開発することも歓迎しています。
用途分野別の主要ALD前駆体と純度仕様
| Application（用途） | Product Name（製品名） | Purity（純度） |
|---|---|---|
| Low-k誘電体 | OMCATS · DMDMOS | >6N |
| High-k誘電体 | TAETO (Ta₂O₅ Precursor) | >6N |
| High-k誘電体 | TEMAH · HfCl₄ (ALD HfO₂ Precursor) | >6N |
| High-k誘電体 | TEMAZ (ALD ZrO₂ Precursor) | >6N |
| High-k誘電体 | TMA (Al₂O₃ Precursor) | >6N |
| メタルゲート／配線メタル | TiCl₄ (Ti / TiN Precursor) | >6N |
| メタルゲート／配線メタル | PDMAT (TaN Precursor) | >6N |
| メタルゲート／配線メタル | CCTBA (Co Precursor) | >6N |
| 低温窒化膜／酸化膜 | HCDS · 3DMAS · BTBAS | >6N |
| 透明電極 | TEMASn · TDMASn · TMI · DEZ | >6N |
ALDプロセスにおける前駆体輸送の厳しい要求に応えるため、ALDOテクノロジーはシリンダー設計、液位検知、液体輸送までを統合したソリューションを提供し、量産・研究開発の現場で材料使用量を安定的に管理し、リスクとダウンタイムを低減します。
カスタムシリンダー、液位計、関連する前駆体輸送統合ソリューションについてのご相談は、プロセス情報をご提供いただければ、最適な構成をご提案いたします。