
ALDは優れた保形性と均一性を備え、複雑な形状や高アスペクト比の部品においても高品質で緻密、かつ均一な薄膜を形成します。半導体、光学、医療機器の製造において、ALDは効果的な水分・酸素バリアと表面保護コーティングを提供し、部品の耐久性と信頼性を高め、寿命を延ばし、メンテナンス頻度とダウンタイムを削減します。
お客様の具体的な用途要件に応じて、薄膜の応用体系に基づき、材料選定からプロセスルート策定までの全方位サービスを提供します。
プロセス開発から量産導入まで、コーティングサービスを一貫してサポート
お客様の用途に応じてALDプロセスレシピの策定やパラメータ調整を支援し、膜厚均一性・組成・表面特性の検証を行います。
多様な基板サイズ・材料に対応した試験コーティングサービスを提供し、設備投資前のお客様の実現性検証と性能評価を支援します。
材料・装置・プロセスの経験を融合し、設計から材料選定、プロセス統合までの技術コンサルティングと導入支援を提供します。